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課程安排順序由淺入深，透過MOOCs數位影片教學，錄製深入淺出的影片，使學生能夠快速且清楚完整的理解課程內容；先介紹微機電系統發展的歷史，使學生初步了解微機電系統，再細部說明薄膜材料以及薄膜微結構及機械性質檢測方法等等。

養成學生應用工程、科學與微機電系統相關的知識，進行研究與轉譯之能力同時培養學生之國際視野。
培育先進精密工程領域之工程與研發人才，使具獨立思考、開發創新與科技整合。

校內外學生及產業界人士

簡易圖像教學：
將繁複的製程及課程相關知識透過簡易圖像進行說明，使非本科系與本科系的學生皆能夠輕易地接觸並了解課程領域之專業知識。

漸進式教材：
透過教材以漸進式顯示的編排方式，讓經由影片學習的學生能夠更加清楚掌握授課老師當前所講受之內容，並於課後複習時也能夠提升其複習效率。

微機電產業鏈製程基礎介紹：
針對微機電製程相關章節製作教學影片，讓學生在未接觸相關該領域之前，經由影片的學習，熟悉各項製程，同時藉由影片了解科技業入門基礎知識。

深入淺出之課程架構：
從材料的基礎到最後微結構與機械性質的檢測方式。透過本課程，不僅能幫助學生在未來研究和工作上能順利完成，還能充分發揮能源重複再利用的效果，創造出更多社會所需要的產品和價值。

整合產業應用教學：
本課程以學生未來發展為考量，並以「學以致其道」的理念，深入介紹並使學生了解，與高科技產業接軌，達到學用合一的目的。

第一週 微機電系統基礎介紹

第二週 材料科學基礎介紹

第三週 微機電製程介紹

第四週 薄膜成長和結構

第五週 元件材料與可靠性

第六週 微結構與機械性質檢測技術

Quiz 30%

單元測驗20%

期中25%

期末25%

基礎工程相關知識