經歷
學歷
讓學生了解微製造工程之相關知識與產業應用
1.運用數學、科學及製程工程知識能力
2.設計與執行實驗及分析數據之能力
3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力
4.具備前瞻顯示科技及微系統技術之國際視野
精密工程研究所、生物產業機電工程、材料工程與機械系所之學生、及精密製造產業相關從業人員
提供研究生瞭解認識深入微製造工程與技術以因應研究需求與產業發展方向,包括
各種實驗理論、實務、儀器科學設計製造等
1. 微製造工程基礎介紹
2. 真空技術
3. PVD
4. CVD
5. 黃光
6. 離子佈植
7. 微型加工與蝕刻
8. CMP
9. 製程操作
1.單元線上測驗
2.作業