微製造工程
林明澤
國立中興大學
教授
現任
國立中興大學 精密工程所 教授/所長
經歷
- 美國康乃爾大學(Cornell University) 材料科學與工程系訪問教授
- 美國理海大學(Lehigh University)高等材料暨奈米中心博士後研究員
學歷
- 美國理海大學(Lehigh University) 機械工程 博士
- 美國理海大學(Lehigh University) 機械工程 碩士
- 國立成功大學 機械工程學系 學士
簡述
為了配合產業發展並使學生理解微機電製程以及薄膜檢測亦為重要，因此開設微機電材料課程，也因這門課程對於許多相關科系學生皆有幫助，所以我們希望此課程不僅僅受惠於校內學生，還能透過課程線上化，讓其他校外學生及業界人士也能獲取到這門課的寶貴知識與技術。也因為想要讓更多人受惠的這個理念，所以我們選擇使用MOOCs 來推廣微機電材料這門課。
課程簡介
讓學生了解微製造工程之相關知識與產業應用
課程目標
1.運用數學、科學及製程工程知識能力
2.設計與執行實驗及分析數據之能力
3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力
4.具備前瞻顯示科技及微系統技術之國際視野
適用對象
精密工程研究所、生物產業機電工程、材料工程與機械系所之學生、及精密製造產業相關從業人員
課程特色
提供研究生瞭解認識深入微製造工程與技術以因應研究需求與產業發展方向，包括
各種實驗理論、實務、儀器科學設計製造等
課程進度
1. 微製造工程基礎介紹
2. 真空技術
3. PVD
4. CVD
5. 黃光
6. 離子佈植
7. 微型加工與蝕刻
8. CMP
9. 製程操作
先備知識
1.單元線上測驗
2.作業